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发布时间:2022-08-14 07:15:00 作者:北京一测
粗糙和轮廓测量仪器像散测定法
其测量原理物体表面上被照射着的光B通过物镜成像于位置Qx当光点与物镜距离(光轴方向)变到A或者C时,则成像位置也会分别移至Px或Sx若从处于中间并垂直于光轴的面上来观察其光束,就可发现光束的直径也随之变化也就是可以检测光束直径的变化量来判断成像的位置在物镜后面插入一块只能在Y轴方向聚束的柱面透镜Y轴方面的成像将往前移至Py,Qy,Sy以后光束便发散由于X轴,Y轴方向上成像位置的不同,光束成椭圆状,如图4所示,故光点远离物镜时,则为长轴在Y轴上的椭圆;相反,靠近物镜时,则为长轴在X轴上的椭圆,用象限光电探测器(四等分光电二极管)作传感器,光束经光电转换后再放大和计算,可获得与被测表面微小变位量相对应的输出信号,这种方法分辨力可达到纳米级别,但测量范围较小。
粗糙和轮廓测量仪器的光学传感器
光学传感器法是在光学三角测距法的原理上提出来的,其工作原理如图7所示装置主要有两部分构成,有两个位置敏感探测器(PSD)和激光器组成的对称三角测距器及两个光电二极管组成的光传感器由PSD探测到携带被测物体表面信息的光信号,输出两路信号(Td和Tcl );光电二极管探测到的光信号后输出一路模拟电压信号(Sc2 ),然后利用PSD和光电二极管探测到的信号与被测物表面粗糙度的关系就可以确定被测物体表面的粗糙度该方法采用技术较成熟的光学三角法,比较容易实现,但是测量精度不高。
轮廓测量仪器技术性能
轮廓测量仪是测量各种机械零件素线形状和截面轮廓形状的精密设备。该仪器工作台采用高精度的横向气浮道轨和滚动垂直道轨,移动精度高、稳定性好、寿命长;测量、操作简单、适用于车间检测站或计量室使用。
轮廓仪-形状测量仪是测量各种机械零件素线形状和截面轮廓形状的精密设备。在轴承行业中可测量各种滚动体及滚道的素线形状,如:凸出量、接触角、曲面曲率半径和基准件角度等,在机械行业中可测量各种零件的直线度、线轮廓度、平行度、倾斜度、角度。
值误差:1%± 0.1u。3、测量精度:不大于0.5u。4、气浮工作台移动精度:动态不大于0.2u/100mm。5、电源:220v,50Hz,0.5kw。6、气源压力:0.5-0.8Mpa。
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